保安全 重质量 提进度

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

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母亲节来临之际，5月8日上午，“红五月·梦豫园”——“妈妈集市”义卖活动就在豫园商城黄金广场开张了。

图说：“妈妈集市”吸引了许多市民游客 记者 周馨/摄（下同）

一早，参与义卖的摊位就纷纷到场了。爱心商家们纷纷拿出招牌热卖商品，文创产品、精美首饰、非遗扇子灯笼、绒线花艺术品……还有，来自巾帼文明岗—黄浦香山中医医院团总支的中药扎染，看得人眼花缭乱，低廉的价格、优良的品质，吸引市民游客纷纷解囊，活动现场暖意涌动。

公益互动区，吹糖人、糖画、棉花糖等非遗项目，引来市民游客驻足观看，这可是“妈妈集市”最受小朋友们喜爱的保留节目。

糖锅里，麦芽糖和冰糖一点点融化，金黄色的糖稀香甜浓稠，80后王晓凤和85后王磊是姐弟俩，也都是吹糖人非遗项目传承人，现场展示了吹糖人技艺。挑起糖稀，轻轻吹一吹捏一捏，一只小海豚！再吹一个，宝葫芦！还要一个，哇，小朋友们最喜欢的小兔子！

精湛技艺，看得市民游客纷纷喝彩，甜蜜蜜的糖人糖画带回家，就当“母亲节”的礼物献给妈妈！

“一个亮点是，今年的‘妈妈集市’既有爱心商户参与，又联动了黄浦区历届三八红旗手、巾帼建功标兵等先进女性。”黄浦区妇联主席王艳说。“妈妈集市”丰富义卖商品，扩大爱心半径，凝聚起更多“她”力量。今天，“妈妈集市”还推出了“黄浦妈妈讲故事”的项目，上海和普洱两地帮扶结对，为普洱留守儿童带去母爱的温暖和故事的陪伴。

“红五月·梦豫园”主题活动始于2016年。“多年来，广大爱心商户不改公益初心，延续爱心传统，定向资助社区困难妇女和儿童，已累计向40名困难妇女（儿童）发放帮扶款3万元，为母亲节和国际家庭日增添了温馨与感动。”豫园街道党工委书记邵泉说。“妈妈集市”是豫园商圈党建联建的生动实践，吸引来自全国和世界各地的游客，努力成为申城家庭文明、妇女儿童友好的展示窗口。

记者 姚丽萍

新民特写｜“妈妈集市”，空气中都是香甜的味道

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不過黨內仍憂心此舉恐直接衝擊年底選情。對此，鄭麗文表示，兩岸和平交流本就是選舉利多，並反問，若要確認兩岸朝和平方向發展，來自中國大陸領導人習近平的背書與表態，難道不重要嗎？

總預算案僵局怎麼解？ 部分藍委盼韓國瑜出面

不僅兩岸路線恐消耗選戰能量，也有國民黨立委針對總預算案語重心長指出，地方早已出現反彈聲浪，並盼立法院長韓國瑜能尋求朝野皆可接受的方式，盡速推動總預算全案審查。

台北／蔡昀彤、彭以德　責任編輯／蔡尚晉

鄭習會不只一次！ 鄭麗文：兩岸仇恨無法一夕解決、和平是唯一出路

天床三

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走进巧家县玉屏街道中心小学，运动场上乒乓球、篮球、游泳等社团活动火热开展，学生在运动中尽情释放活力；心理辅导室内，专业的心理疏导温暖进行，为学生的心灵保驾护航。这正是巧家县坚守“健康第一”教育理念，以“运动赋能+心理护航”守护青少年成长的生动缩影。

“我特别喜欢篮球运动，学校篮球运动氛围特别浓。”玉屏街道中心小学五年级学生李昀泽说，作为校篮球队成员，他每天在专业教练指导下训练，全力备战赛事。班主任喻正清表示，体育社团活动不仅增强了学生的体质，更提升了其团队意识与抗挫能力，让学生更加阳光自信。

在关注身体健康的同时，巧家县同步呵护青少年心灵成长。玉屏街道中心小学心理教师通过谈心、游戏等方式化解学生成长困惑，学校建立完善的心理健康管理体系，实现日常排查、分级干预全覆盖。

巧家县各学校每年开展学生心理健康排查，将心理疏导融入日常；同时落实“每天锻炼2小时”要求，开足体育课，以“一校一品、一校多特”为抓手，让每个学生掌握1—2项运动技能。

如今，从特殊教育学校的特奥融合足球队屡获大奖，到普通中小学特色体育社团蓬勃发展，巧家县以全方位健康教育举措，让“健康第一”理念落地生根，助力少年儿童身心和谐发展、向阳生长。

通讯员：余庆德 马威 王先员 文/图

巧家：“运动赋能+心理护航”助力青少年快乐成长

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       12月25日下午，县委副书记、县长王景义主持召开会议，分领域听取2025年工作总结暨2026年工作谋划，并逐一点评。县委常委、常务副县长李卫政出席。
       会上，县发改、财政、统计等单位分别汇报了2025年工作总结暨2026年工作谋划，李卫政就做好相关工作作了安排部署。
       王景义强调，要全力争取项目与资金，持续优化营商环境，科学编制“十五五”规划，做实做细项目谋划。要着力提高收入质量，积极争取奖励资金，盘活国有资产，从严控制支出，科学编制预算，坚决守住债务风险底线。要统筹好发展和安全，深入排查整治隐患，坚决维护社会大局稳定，为民权经济社会高质量发展提供坚实安全保障。

我县召开2025年工作总结暨2026年工作谋划会议

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　　今年以来，岳西县温泉镇聚焦项目，以钉钉子精神啃硬骨头、破难题，推动一批重点工程加速落地，为大别山革命老区高质量发展注入了澎湃动力。

　　8月15日，温泉镇现代农业蔬菜产业园的智能温室内，传感器实时监测着土壤湿度与光照强度，水肥一体化系统精准供给养分。这个占地200亩的“智慧农场”，年产优质蔬菜2000吨，产值超千万元，是该镇高质量推进项目建设的缩影。

　　以工业化思维发展农业。近年来，该镇通过“党组织+企业+合作社+农户”模式，成功招引食用菌生产基地、番茄港、蓝莓产业园等现代农业项目。其中，总投资超5亿元的食用菌（褐菇）生产基地一期建设过半，预计年产蘑菇4700吨；占地350亩的番茄港项目正加速推进，年底将建成集种植、观光于一体的现代农业示范园。目前，全镇已形成蔬菜、食用菌、精品果业三大特色产业链，带动200余户农户每年户均增收3万元以上。

　　离开现代农业蔬菜产业园，来到该镇清澄文化旅游体验项目现场，只见现代化的综合教学楼已投入运营，园林式的校区布局与周边山水相映成趣。这个总投资超1亿元的项目是该镇近年来招商引资的重头戏。

　　项目落地之初，该镇主要负责人牵头组建服务专班，实行“项目管家”全流程代办。还试水“入股联营”模式，以“村集体用地+企业”的方式参与文旅项目建设。“入股联营”的做法，不仅盘活了农村闲置土地，消除了企业的用地顾虑，还为村集体经济发展增添了新动能。

　　如今项目一期已建成10800平方米教学实训区，配套4000平方米综合楼，集教学培训、文化体验、旅游接待于一体，不仅成为岳西县职业教育的新标杆，更带动了解放村集体经济增收，吸纳村民就近务工，为乡村振兴提供了“产学研”融合的新路径。

　　从智慧农业到文旅融合，近年来温泉镇坚持以“系统思维”推动项目建设，构建多点发力、协同共进的发展格局。如今该镇内，项目建设现场机器轰鸣，乡村旅游景点游人如织，现代农业园区生机盎然。

　　“谋项目就是谋未来。重点项目不仅是拉动经济增长的强引擎，更是凝聚民心、汇聚民力的连心桥。”温泉镇党委书记胡天南说，该镇将以更大力度、更实举措推动在建及续建项目早投产、早见效，为大别山革命老区高质量发展贡献镇域力量。（记者 沈永亮 通讯员 彭先绪）

岳西县支起项目建设“灶”煮香镇域经济“饭”

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